香河鑫民板金制品厂
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作者:admin 发布时间:25-02-22 04:14
本实用新型涉及一种光刻机工件台监控系统,包括控制模块及报警模块,控制模块包括控制器及控制板卡,控制板卡与控制器连接,控制板卡用于连接光刻机工件台的电机驱动器,并用于通过电机驱动器控制工件台启停,控制器具有数字输入模块及模拟输入模块;报警模块包括一级停机报警单元及二级缓冲停机报警单元。如此,控制器具有数字输入模块及模拟输入模块,方便控制器通过数字输入模块及模拟输入模块连接外围变量传感器,来采集对工件台的监测数据,实现对多项外围变量指标的监测,在数据异常时,方便根据相应的数据异常策略通过报警单元发出二级预警,并通过控制控制板卡实现对工件台启停的控制。
操作台与控制台的使用有一定的却别,控制台现今主要是用在监控室内的,为监控行业服务。而操作台则主要用于信息中心、多媒体教室、会议室等地,可以提供多方面的服务。
TIME:2021-01-22